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非单层SiO_2埋层SOI新结构的研究
一、非单一SiO_2埋层的SOI新结构研究(论文文献综述)辛艳辉[1](2014)在《新型SOIMOSFET器件结构研究与电特性分析》文中进行了进一步梳理随着半导体工艺技术的不...